Solução de controlo de automação para equipamento de revestimento de semicondutores
Solução de controlo de automação para equipamento de revestimento de semicondutores
História do caso:
Na indústria de semicondutores, as máquinas de revestimento são essenciais no processo de fotolitografia, responsáveis pela aplicação de fotoresistentes ou outros materiais funcionais em wafers ou substratos.Utilizando métodos de revestimento por espinagem ou revestimento por pulverização, estas máquinas formam filmes finos uniformes e estáveis para garantir a precisão do padrão.e sistemas de posicionamento de alta precisãoSão frequentemente equipados com braços de carregamento/descarregamento automatizados e sistemas de controlo de feedback em tempo real para melhorar a eficiência da produção e garantir uma qualidade de revestimento constante.
Solução:
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Controlador principal:OMRON PLC
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Processo aplicável:Revestimento
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Configuração de E/S do projeto:MTC-CEE-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2
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Utilização anual:1 milhão de conjuntos
Neste projeto, o cliente integra um PLC OMRON com os produtos de ilha de válvula MTC da Decowell para construir um sistema de controlo pneumático compacto e eficiente para equipamentos de revestimento.As válvulas solenoides impulsionam os cilindros para controlar com precisão o movimento vertical e horizontal do bico de pulverizaçãoOs cilindros adicionais accionam os braços automáticos de carregamento e descarregamento, que transportam os substratos entre o revestimento e o sistema de transportador.
O sistema incorpora módulos de E/S dentro da ilha da válvula, permitindo uma fácil ligação de sensores de posição e interruptores magnéticos.Com arquitetura modular, o sistema oferece uma excelente escalabilidade e flexibilidade para atender a diferentes configurações de equipamento.
Vantagens da aplicação:
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A alta integração reduz a fiação e economiza espaço no painel
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Módulos de E/S expansíveis para futuras atualizações do sistema
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Controle preciso do movimento dos bicos de pulverização e dos braços de manuseio
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Desempenho estável e eficiente adequado para produção em grande volume